Sputtern, Ionenzerstäubung, Abdampfen von Atomen und Atomclustern von der Oberfläche eines Stoffes unter Bestrahlung mit beschleunigten Ionen. Technische Anwendungen sind das Ätzen (Sputterätzen, ...

Die Anlage MEGA vereint die Vorzüge verschiedener Beschichtungstechnologien: klassisches DC Magnetron-Sputtern, reaktives (Co-)Magnetron Sputtern, Hochfrequenz-Sputtern, Hohlkathoden-Gasfluss-Sputtern ...

Beim Sputtern wird eine Ober­fläche mit Ionen bestrahlt. Dadurch lassen sich beispiels­weise mikro­skopisch kleine Verun­reini­gungen entfernen. Sputtern ist also eine Art atomares Sand­strahlen.

Die Beschichtung von Werkzeugen mit dünnen, verschleißfesten Schichten gehört nun schon seit etlichen Jahren zum Stand der Technik. Fast alle Zerspanwerkzeuge (Bohrer, Fräser, Wendeschneidplatten) ...